本文標題："掃描電子顯微鏡廣泛應用在氧化膜形貌的觀察和分析"
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掃描電子顯微鏡廣泛應用在氧化膜形貌的觀察和分析
掃描電子顯微鏡SEM
現在掃描電子顯微鏡廣泛應用在氧化膜形貌的觀察和分析上。入射
電子束在樣品表面掃描，激發的二次電子和背散射電子被探測器接收，
產生電信號調節電視監視器的亮度，由于監視器的掃描與電子束同步，
而且產生的二次電子和背散射電子的數量取決于樣品表面某微區的傾角
和聚焦深度，因此生成的圖像與樣品的表面形貌完全對應。用背散射電
子成像還可獲得有關原子平均質量方面的信息。配置場發射電子槍的現
代掃描電子顯微鏡圖像"1放大倍數可高達100 000倍，分辨率達1 000 n
m。
因為人射電子還能從固體中激發出元素的特征x射線，所以可檢測
固體中存在的元素，如果做適當的校準，還可確定各元素的含量。x射
線探測器的輸出還可用于調節監視器的亮度，從而得出指定元素的相對
含量圖。由于能夠同時給出顯微組織和組成方面的信息，SEM成為研究
氧化膜形貌特征的非常有用的工具。
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