本文標題："材料表面氧化膜-合金表面最先形成的氧化物的成分"

發布者：yiyi ------ 分類: 行業動態 ------ 人瀏覽過-----時間：2016-9-28 9:39:8

材料表面氧化膜-合金表面最先形成的氧化物的成分

　表面分析技術

　　在很多情況下，我們感興趣的是材料表面非常薄的氧化膜，例如合

金表面最先形成的氧化物的成分，一組具有高度表面靈敏性的技術可用

來進行這方面的檢測，Grabke等人對這些技術在氧化行為分析方面的應

用做了非常好的評述。

　　應用最廣泛的是俄歇電子譜(AES)，由于俄歇電子的激發是電子能

級之間轉變的結果，因此它們的能量具有元素特征，除H和He之外的所

有元素都能被檢測

　　淺的地方逸出，所以具有表面靈敏性。俄歇譜可用標準值和發表過

的校正因子進行定量，。因此與掃描電子形貌對應的X射線圖類似，如

果用人射光束掃過樣品表面，就能作出成分分布圖。現代儀器中入射電

子束能聚焦到使橫向空間分辨率達到約50 nm。

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