本文標(biāo)題："微機(jī)電零件輪廓精確度測(cè)量工具顯微鏡"

微機(jī)電零件輪廓精確度測(cè)量工具顯微鏡

微機(jī)電系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)
(1) 精確度：
???當(dāng)一機(jī)械系統(tǒng)從傳統(tǒng)從傳統(tǒng)大小縮小至微機(jī)械時(shí)，其零件之精確度將相對(duì)的提高。
(2)成本：
??由于微機(jī)械體積的微小，所以需要的材料成本很低，就是用較好的材料也不會(huì)提高太多成本。
(3)輕柔運(yùn)作：
??低質(zhì)量，意味低實(shí)性和低質(zhì)量變化效應(yīng)，導(dǎo)致較平順，較輕柔的運(yùn)作。
(4)運(yùn)作速度：
??系統(tǒng)越小，可使用的運(yùn)作速度越高。當(dāng)一系統(tǒng)縮小10倍時(shí)，
其相對(duì)可運(yùn)作之速度則可提高10倍以上。例如微細(xì)的硅晶空氣輪機(jī)可在使用簡單的硅晶軸承下，
轉(zhuǎn)速達(dá)24000RPM。

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