本文標(biāo)題："含醇電解拋光液中有機(jī)酸加速拋光劑對銅溶解"
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含醇電解拋光液中有機(jī)酸加速拋光劑對銅溶解
另外，我們還研究了含醇電解拋光液中有機(jī)酸加速拋光劑對銅溶解的影響。我們建立的有機(jī)酸雙添加劑系統(tǒng)為醋酸、
檸檬酸、Citrazinic酸以及苯甲酸。在溝渠的底部，被證明酯化反應(yīng)有效的生成一層抵抗電解拋光的黏膜且降低了局部區(qū)域的酸度
。因此在Trench外部，銅的溶解速率由電解液中的酸度主導(dǎo)。而在Trench底部，則由此生成的高黏度的電阻值主導(dǎo)。對于弱酸系統(tǒng)例如醋酸來說，
比較高濃度的添加劑量較能維持較低的酸度與致密的酯化層，所以能在Trench底部抑制銅的溶解。
所以能得知為何此含有醋酸加上醇類的電解液能在電解拋光后得到最高的銅平坦化效率。
論文第三部份，我們提出了一種方法：銅雙重模式電鍍，寄望能使得銅電鍍與電解拋光能在一個(gè)電解槽完成。最重要的參數(shù)除了
為電解液的選用外，還包含電化學(xué)程式的最佳化。目前為止，我們發(fā)展了幾種有效的電解液配方與電脈沖頻率來促進(jìn)銅雙重電鍍模式的效能。
目前發(fā)現(xiàn)有效的電解液中，包含了銅標(biāo)準(zhǔn)電鍍液、抑制劑、平整劑以及電解拋光的必備磷酸。對于小線寬銅線，
已經(jīng)有特定參數(shù)能達(dá)到電鍍后的表面平整與高度填孔能力。對于大線寬銅線，則在良率60%的情形下達(dá)到階段性高低差的減少
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