本文標題："電極及化學鍍鎳工藝，為常用的主要上電極工藝"
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電極及化學鍍鎳工藝，為常用的主要上電極工藝
電極工藝
燒滲電極及化學鍍鎳工藝，為常用的主要上電極工藝，其他還
有火焰噴鋁、噴銅、噴鋅、真空濺射、真空蒸發等。
真空濺射也可用于上電極，例如在PTC陶瓷中，用此工藝濺射
鈦電極，由于濺射前用氬離子清洗表面，使表面形成氧空位，破壞
了氧吸附，故能形成良好歐姆接觸，且黏附強度大。加興加康電子
陶瓷公司，用此工藝對大批壓電元件上電極。
火焰噴鋁也被大量用于對PTC及ZnO變阻器上電極。它用氧及乙
炔氣為熱源，利用壓縮空氣把熔融的鋁顯微液滴噴射在瓷片面上，
形成良好歐姆接觸電極。除鋁以外，還可噴Zn、Cu等，例如PTC蜂
窩發熱元件噴鋁后，再覆蓋黃銅(即噴Cu—Zn)，可防止鋁電極長久
使用后變質。為了增大鋁對瓷的粘附，可以把瓷片預熱后再噴。等
離子噴涂與此類似。
不同元件、不同應用有不同的要求，例如壓電元件在外電場極
化時，要求一種電極圖案，而工作時又要求另一種電極圖案，這時
可用空氣中固化的導電漿料，極化后除去，再換另一種形式的電極
。當需要復雜圖案的電極，如梳狀或權枝形電極，則用掩膜板蒸發
形成電極。有些傳感器等疊層器件，多層重疊以獲得大位移量，例
如達到100μm時，往往應用厚膜成形、沖制、印刷電極、疊層，最
后經燒結。由于電極處于瓷片層之間，需耐高溫，因此多用舷一Pd
電極，也有利用注入法，即先用有機物為電極，燒除后再注入低熔
點金屬形成內電極。
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