本文標題："微機械精密微小型多工藝復合加工技術分析顯微鏡"
發布者：yiyi ------ 分類: 行業動態 ------
人瀏覽過-----時間：2016-6-11 21:9:44
微機械精密微小型多工藝復合加工技術分析顯微鏡
目前，先進制造技術的一個重要發展方向即為微細化、高精度
、復合型加工技術，而精密微小型多工藝復合加工技術是針對日益
增多的精密微小型復雜結構件加工難題而逐漸發展起來的先進加工
工藝。推動該項技術不斷深入發展的核心動力，正是隨著科技發展
，對微小裝置的功能、結構復雜程度、可靠性等要求越來越高，從
而使得對特征尺寸在微米級到毫米級、采用多種材料、且具有一定
形狀精度和表面質量要求的精密三維微小零件的需求Et益迫切，如
微小型武器部件、航空航天慣性部件、精密醫療器械和國防及高科
技產品微小型產品等。
微機械加工技術經過多年的研究開發，已迅速發展成為具
有多學科交叉的前沿研究領域。隨著微小型機械需求的增長，對微
小型零件結構的復雜程度、材料的多樣性、形狀精度、表面表面粗糙度儀
等均提出了越來越高的要求，加工難度越來越大，必須研究更加先
進的加工技術，以適應微小型零件的加工要求。車銑加工是一種先
進的切削加工方法，將車銑技術運用于微小型零件的切削加工，是
微小型機械加工技術發展的一個重要趨勢。
微小型零件的概念和加工方法
所謂微小型零件，是指幾何特征尺寸在數十微米至數十毫
米范圍內的零件。比之小的有納米尺度和微米尺度零件，比之大的
稱為常規尺度零件。因此把這種介于微米尺度與常規尺度之間的微
小型零件也稱為“微米與中間尺度(micro／meso scale)零件，又
稱為介觀尺度零件。
關于微制造技術，國際上大致分為兩個主要領域，一是以
硅微工藝和光刻電鑄(德文Lithographie，Galanoformung，Abform
ung，LIGA)工藝為代表的微制造技術，二是以傳統機械制造技術為
背景發展起來的微細結構制造技術，即精密微小型機械制造技術。
起源于集成電路芯片制作技術的硅微加工方法，首先在微
制造領域得到應用，并不斷完善和發展，但其三維體加工能力較差
，需要非常的超凈條件和受到線寬尺寸的限制，而LIGA或準LIGA工
藝需要較強的射線源，在制造高承載三維復雜結構件方面受到了限
制。
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