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本文標題："光學法覆層測厚覆層斷面測量金相計量顯微鏡"

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光學法覆層測厚覆層斷面測量金相計量顯微鏡

光學法覆層測厚包括覆層斷面的顯微鏡和掃描電鏡測量，光：

切法、干涉法、偏振光法和光度法等光學裝置的覆層厚度測量。

按被測件是否被破壞，光學法可分有損測量和無損測量，對于光：

學透明覆層厚度的測量通常是無損測量。

光度法或稱光電法，它是利用光束通過覆層后反射光強來濺

量覆層厚度。它不僅用于測量厚度，而且是在某些覆層制備過程

中進行覆層厚度控制的一種手段。

顯微鏡進行光學成像測量，其質量決定于放大倍數(shù)、成像完

善性和鑒別率。

顯微鏡的放大倍數(shù)等于物鏡的放大倍數(shù)和目鏡放大倍數(shù)的i

乘積。

保證物像輪廓明顯和清晰的成像幾何完善性決定于物鏡的質．

量，即物鏡消除主要的光學缺陷色差和球面像差的程度。

顯微鏡的鑒別率主要決定于物鏡的鑒別率，而物鏡的鑒別率．

決定于物鏡的數(shù)值孔徑，孔徑愈大，鑒別率愈高，因而分辨物體

最細小的細節(jié)部分能力愈強。在覆層厚度測量中，根據(jù)其厚度晦

范圍與準確度要求，宜選擇合適的顯微鏡。

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