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本文標題:"高精度微細加工的測定與品質(zhì)分析圖像顯微鏡"

發(fā)布者:yiyi ------ 分類: 行業(yè)動態(tài) ------ 人瀏覽過-----時間:2013-11-8 10:58:19

高精度微細加工的測定與品質(zhì)分析圖像顯微鏡


電解電壓對電解拋光加工特性之影響

電解電壓主要是參考電解液之陽極極化曲線,來
設定我們所要的參數(shù),分別為 1V、2V、3V、5V、7V。

由孔壁表面SEM電子顯微鏡,電解電壓 1V 加工時間 5 分鐘后,孔壁表面并
無明顯的加工現(xiàn)象,由多個放電坑洞所形成的放電痕,也就是所謂的
嶺高部分,僅些微的尖端產(chǎn)生解離而溶除。而使用電解電壓 2V 時為
鈍態(tài)區(qū)電壓,此時電解狀態(tài)易形成不動鈍態(tài),即陽極解離緩慢甚至停
止,但其加工量恰好約為變質(zhì)層厚度時開始接近鈍態(tài),此時主要加工
機制為腐蝕作用。

電解電壓 3V 時為過鈍態(tài)區(qū)之電解電壓,此區(qū)域中陽極開始解離
出現(xiàn)氧氣,金屬被活化而腐蝕解離,

實驗工件材料為軋延之薄板,因此會有孔蝕或沿晶腐蝕的現(xiàn)象產(chǎn)生。

除了晶界腐蝕之外,還可發(fā)現(xiàn)孔壁表面有呈現(xiàn)階梯狀的排列,表示整個晶粒也被腐蝕,
可發(fā)現(xiàn)成排的孔蝕坑。

電解電壓 5V 時為接近極限電流區(qū)之電壓,一般電解拋光常在此區(qū)域下實行,
但由于電解時反應激烈,大量的氣泡產(chǎn)生,瞬間移除大量的材料,不容易控制其
加工量,雖然有不錯的表面粗糙度,但由于本實驗為孔徑約 100μm
之微細孔,為求符合微細加工的品質(zhì)與精度,所以并不適合使用此電壓


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